Kapacitatīvā spiediena sensors ir sava veida spiediena sensors, kas izmanto kapacitāti kā jutīgu elementu, lai pārveidotu izmērīto spiedienu kapacitātes vērtības maiņā.Šāda veida spiediena sensors parasti izmanto apaļu metāla plēvi vai apzeltītu plēvi kā kondensatora elektrodu, kad plēve izjūt spiedienu un deformējas, mainās kapacitāte, kas veidojas starp plēvi un fiksēto elektrodu, un elektriskais signāls var būt. izeja ar noteiktu attiecību starp spriegumu caur mērīšanas ķēdi.
Kapacitatīvā spiediena sensors pieder pie polārā attāluma variācijas kapacitatīvā sensora, ko var iedalīt vienā kapacitatīvā spiediena sensorā un diferenciālā kapacitatīvā spiediena sensorā.
Viena kapacitatīvā spiediena sensors sastāv no apļveida plēves un fiksēta elektroda.Spiediena ietekmē plēve deformējas, tādējādi mainot kondensatora kapacitāti, un tās jutība ir aptuveni proporcionāla plēves laukumam un spiedienam un apgriezti proporcionāla plēves spriegumam un attālumam no plēves līdz fiksētajam elektrodam. .Cita veida fiksētais elektrods ir ieliekta sfēriska forma, un diafragma ir spriegošanas plakne, kas fiksēta ap perifēriju.Diafragmu var izgatavot ar plastmasas apzeltīšanas metodi.Šis tips ir piemērots zema spiediena mērīšanai un tam ir liela pārslodzes jauda.Vienu kapacitatīvo spiediena sensoru var izgatavot arī no diafragmas ar virzuļa kustīgu stabu, lai mērītu augstu spiedienu.Šis veids samazina diafragmas tiešās saspiešanas laukumu, lai jutīguma uzlabošanai varētu izmantot plānāku diafragmu.Tas ir arī integrēts ar dažādām kompensācijas un aizsardzības sekcijām un pastiprināšanas shēmām, lai uzlabotu prettraucējumu spēju.Šis sensors ir piemērots dinamiskai augsta spiediena mērīšanai un gaisa kuģu telemetrijai.Viena kapacitatīvā spiediena sensori ir pieejami arī mikrofona (ti, mikrofona tipa) un stetoskopa tipa.
Diferenciālā kapacitatīvā spiediena sensora spiediena diafragmas elektrods atrodas starp diviem fiksētiem elektrodiem, veidojot divus kondensatorus.Spiediena iedarbībā viena kondensatora jauda palielinās, bet otra attiecīgi samazinās, un mērījumu rezultātu izvada diferenciālā ķēde.Tā fiksētais elektrods ir izgatavots no apzeltīta slāņa uz ieliektas izliektas stikla virsmas.Diafragmu no pārrāvuma aizsargā ieliektā virsma pārslodzes laikā.Diferenciālā kapacitatīvā spiediena sensoriem ir augstāka jutība un labāka linearitāte nekā vienkapacitatīviem spiediena sensoriem, taču tos ir grūtāk apstrādāt (īpaši, lai nodrošinātu simetriju), un tie nevar panākt mērāmās gāzes vai šķidruma izolāciju, tāpēc tie nav piemēroti. darbam šķidrumos ar koroziju vai piemaisījumiem.
Publicēšanas laiks: 19. jūnijs 2023